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申请/专利权人：江苏华恒新能源有限公司
摘要：本实用新型公开了一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，包括浮球液位传感器，所述浮球液位传感器包括导杆、浮球和变送器，所述浮球液位传感器通过法兰安装在刻蚀槽顶部，所述浮球漂浮在所述刻蚀槽内的药液液面上；所述浮球的侧壁下端周向等间距布置有若干个低位浮力件，所述低位浮力件的下端位于所述浮球下壁下方，若干个所述低位浮力件使得浮球与药液始终无接触。本实用新型采用浮球式液位传感器，避免了测量不准造成的硅片过刻的现象，且浮球上安装有防止浮球与药液接触的低位浮力件，避免了浮球因渍垢导致卡死的现象，提高了液位测量的精准度；低位浮力件能够变换角度，改变与药液接触位置，延长使用寿命，便于维护。
主权项：1.一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，包括浮球液位传感器，所述浮球液位传感器包括导杆1、浮球2和变送器3，所述浮球液位传感器通过法兰4安装在刻蚀槽顶部，导杆1与法兰4固定连接，导杆1竖直布置在刻蚀槽主槽内，浮球2滑动套接在导杆1上，变送器3设置于导杆1顶部且与导杆1电连接，所述浮球2漂浮在所述刻蚀槽内的药液5液面上；所述浮球2的侧壁下端周向等间距布置有若干个低位浮力件6，所述低位浮力件6的下端位于所述浮球2下壁下方，若干个所述低位浮力件6使得浮球2与药液5始终无接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏华恒新能源有限公司 一种刻蚀槽主槽的液位监测装置
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