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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日：2023-10-27
公开（公告）日：2024-05-07
公开（公告）号：CN220912534U
主分类号：G01L13/06
分类号：G01L13/06;A24F40/51
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.07#授权
摘要：本实用新型的实施例公开了一种微差压传感器及电子设备，其中微差压传感器包括：基板，基板设有在厚度方向上贯通基板的通孔MEMS芯片和ASIC芯片，MEMS芯片和ASIC芯片设置在基板上，MEMS芯片覆盖通孔；其中，MEMS芯片包括参考电容和检测电容；参考电容用以采集参考电容值；在基板的厚度方向上，检测电容的导电层与通孔交叠；检测电容用以采集检测电容值；ASIC芯片根据参考电容值和检测电容值间的差值是否超过一预设阈值判定是否发出工作信号。采用本实用新型的技术方案，避免了因参考电容和检测电容温度系数的不同而导致工作信号的误触发。
主权项：1.一种微差压传感器，其特征在于，包括：基板20，所述基板20设有在厚度方向上贯通所述基板20的通孔21；MEMS芯片40和ASIC芯片30，所述MEMS芯片40和ASIC芯片30设置在所述基板20上，所述MEMS芯片40覆盖所述通孔21；其中，所述MEMS芯片40包括参考电容403和检测电容402；所述参考电容403用以采集参考电容值；所述检测电容402用以采集检测电容值；所述ASIC芯片30根据所述参考电容值和所述检测电容值之间的差值是否超过一预设阈值判定是否发出工作信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 微差压传感器及电子设备
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