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申请/专利权人：北京子牛亦东科技有限公司
申请日：2024-01-11
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118053801A
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;C04B37/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种静电卡盘的制备装置及制备方法。该制备装置包括支撑部、密封部和定位部，密封部与支撑部连接，密封部和支撑部能够合围形成容纳腔，容纳腔用于收纳静电卡盘，定位部设于容纳腔中并能够穿过静电卡盘，该定位部包括第一定位件和第二定位件，第一定位件连接支撑部，第二定位件以可拆卸的方式连接第一定位件，第一定位件用于穿设于基座中并对基座进行定位，第二定位件用于穿设于电介质层并对电介质层进行定位。根据本发明的静电卡盘的制备装置，通过第一定位件对基座进行一级定位，通过第二定位件对电介质层进行二级定位，这种精确的定位有助于在粘接过程中保持基座和电介质层的正确相对位置。
主权项：1.一种静电卡盘的制备装置，所述静电卡盘包括基座和设于基座上的电介质层，其特征在于，所述静电卡盘的制备装置包括：支撑部；密封部，所述密封部与所述支撑部连接，所述密封部和所述支撑部能够合围形成容纳腔，所述容纳腔用于收纳所述静电卡盘；至少两个定位部，所述至少两个定位部间隔设置在所述容纳腔内，每个所述定位部设于容纳腔中并能够穿过所述静电卡盘，所述定位部包括第一定位件和第二定位件，所述第一定位件连接所述支撑部，所述第二定位件以可拆卸的方式连接所述第一定位件，所述第一定位件用于穿设于所述基座中并对所述基座进行定位，所述第二定位件用于穿设于所述电介质层并对所述电介质层进行定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京子牛亦东科技有限公司 静电卡盘的制备装置及制备方法
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