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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2018-08-01
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN111095520B
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01L21/304
优先权：["20170922 JP 2017-182461"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2020.05.29#实质审查的生效;2020.05.01#公开
摘要：提供能够调整飞散至外侧的处理液的流速的基板保持装置。基板保持装置1用在对基板W供给处理液的基板处理装置100中。基板保持装置1具备保持部件10、环状部件20和旋转机构30。保持部件10将基板W保持为水平姿态。环状部件20具有包围保持于保持部件10的基板W的周缘的环状形状，环状形状的上表面20a位于与基板W的表面相比靠下方的位置。旋转机构30以通过保持于保持部件10的基板W且沿着铅垂方向的轴线为旋转轴Q1，使保持部件10和环状部件20以彼此不同的旋转速度和或彼此不同的旋转方向旋转。
主权项：1.一种基板保持装置，被用在对基板供给处理液的基板处理装置中，所述基板保持装置的特征在于，具备：保持部件，其将基板保持为水平姿态；环状部件，其具有在俯视时包围被所述保持部件保持的基板的周缘的环状形状，所述环状形状的上表面位于与所述基板的表面相同的高度或者与所述基板的表面相比靠下方的位置；和旋转机构，其以从被所述保持部件保持的基板通过且沿着铅垂方向的轴线为旋转轴，使所述保持部件和所述环状部件以彼此不同的旋转速度、和或彼此不同的旋转方向旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板保持装置及基板处理装置
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