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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日：2024-01-18
公开（公告）日：2024-05-24
公开（公告）号：CN117865866B
主分类号：C07C381/12
分类号：C07C381/12;G03F7/004
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.24#授权;2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要：本发明提供一类式I所示基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用。本发明式I所示化合物以三蝶烯和苯环为基本单元，最大限度地提高了其作为主体材料的抗刻蚀性能，同时提高了其热稳定性、溶解性和成膜性，综合性能大大提高，所述主体材料的热分解温度大于250℃，其热稳定性相对于现有的三蝶烯结构显著提升，扩大了材料的应用范围，适合光刻加工工艺的要求。。
主权项：1.式I所示的化合物： ；其中，X–为卤素离子、羧酸根、硫酸根、烷基磺酸根、三氟甲磺酸根、全氟丙基磺酸根、全氟丁基磺酸根、对甲苯磺酸根、磺酰胺的阴离子、四氟硼酸根、六氟锑酸根、六氟磷酸根或双三氟甲烷磺酰亚氨离子；n等于分子中硫鎓盐基团-S+RS1RS2中S+的个数，S+和X–使化合物整体呈电中性，n值为6；即式I化合物中具有6个基团-S+RS1RS2；式I所示化合物为对称结构，即外侧6个苯环上的结构完全相同；R1、R2、R3、R4、R5中有1个选自硫鎓盐基团-S+RS1RS2，其他基团为H；所述硫鎓盐基团-S+RS1RS2位于其所取代的苯环的间位或对位；R1、R2、R3、R4、R5相同或不同，各自独立地选自H、-S+C1-3烷基2、-S+苯基2、-S+C1-3烷基苯基、-S+-C1-3烷基-苯基C1-3烷基；RS1、RS2各自独立地选自C1-3烷基、苯基或-C1-3烷基-苯基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 基于三蝶烯的多硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法
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