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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：扩散板包括如本文所示和所述的虚设孔、与其耦接的第一网孔补片、与其耦接的第二网孔补片或多个密度控制通路中的至少一个。该虚设孔、该网孔补片和该多个密度控制通路避免在处理腔室的拐角处出现不均匀轮廓。
主权项：1.一种扩散板组件，包括：板，所述板具有背侧和前侧；气体通路，所述气体通路穿过所述板从所述背侧延伸到所述前侧，所述气体通路包括：背侧孔，所述背侧孔从所述背侧延伸到所述板的第一深度，针孔，所述针孔从所述板的所述第一深度处的所述背侧孔延伸到所述板的第二深度，以及前锥体，所述前锥体从所述板的所述第二深度处的所述针孔延伸到所述前侧；以及第一虚设孔，所述第一虚设孔在所述板的周边上，所述第一虚设孔从所述背侧延伸到所述板中而不延伸到所述前侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于扩散器的虚设孔和网孔补片
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