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申请/专利权人：苏州源展材料科技有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-05-31
公开（公告）号：CN117924348B
主分类号：C07F7/22
分类号：C07F7/22;C07C45/77;C07C49/14;C23C16/455;C23C16/40
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.31#授权;2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本发明提供了一种ALD前驱体锡配合物的一锅法制备工艺。本发明使用氨基金属化合物与锡的卤化物反应先制备活性较高的氨基锡化合物，再进一步与乙酰丙酮类原料反应制备乙酰丙酮类锡配合物。氨基金属的活性相对于乙酰丙酮类碱金属盐，具有更高的反应活性，可以与锡的卤化物进行很好的反应。生成的氨基锡化合物具有较高的活性，能够与乙酰丙酮类原料发生配体交换反应，生成活性较低且稳定的乙酰丙酮类锡配合物。
主权项：1.一种ALD前驱体锡配合物的一锅法制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、将锡的卤化物溶液置于冷浴中；所述锡的卤化物溶液中锡的卤化物选自二氯化锡、二正丁基二氯化锡、四氯化锡和二溴化锡中的一种或多种；S2、将氨基碱金属化合物溶液与步骤S1中锡的卤化物溶液混合，之后升温至20~50℃并搅拌，得到混合反应溶液，并置于-78℃~0℃的冷浴中；所述氨基碱金属化合物溶液中氨基碱金属化合物选自二异丙基氨基锂、双三甲基硅基氨基钾和二乙氨基锂中的一种或多种；S3、将乙酰丙酮类化合物加入步骤S2中所得混合反应溶液中，升温至20~50℃并搅拌，得到所述ALD前驱体锡配合物；所述乙酰丙酮类化合物选自2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮、2,4-戊二酮、1,1,1-三氟-2,4-戊二酮和六氟乙酰丙酮中的一种或多种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州源展材料科技有限公司 一种ALD前驱体锡配合物的一锅法制备工艺
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