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申请/专利权人：沛顿科技(深圳)有限公司
申请日：2024-03-27
公开（公告）日：2024-06-04
公开（公告）号：CN118136558A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;B08B5/02;H05H1/24
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.21#实质审查的生效;2024.06.04#公开
摘要：本发明涉及芯片生产技术领域，具体为一种模封机台基板进料清扫风刀，包括第一载板，第一载板的一侧固定连接有第二载板，第二载板的一侧固定连接有第三载板，第三载板的表面固定有框架，框架的内壁转动安装有风刀头，第一载板的表面固定连接有离子发生器，离子发生器的一端连接有厂务气源管，离子发生器的另一端固定连通有导管，导管的外端和风刀头固定连通。本发明利用倾斜的风刀头接入厂务气源，使得形成的风刀对基板表面的异物进行吹扫，高压的气体瞬间会吹走基板表面的异物，从而能够提升对基板表面异物的清除效果，有效的保证异物去除的彻底性，避免基板表面残留异物造成模封后会出现基板表面存在凹坑的情况。
主权项：1.一种模封机台基板进料清扫风刀，包括第一载板1，其特征在于：所述第一载板1的一侧固定连接有第二载板2，所述第二载板2的一侧固定连接有第三载板4，所述第三载板4的表面固定有框架41，所述框架41的内壁转动安装有风刀头42，所述第一载板1的表面固定连接有离子发生器3，所述离子发生器3的一端连接有厂务气源管32，所述离子发生器3的另一端固定连通有导管33，所述导管33的外端和风刀头42固定连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沛顿科技(深圳)有限公司 一种模封机台基板进料清扫风刀
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