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申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
申请日：2024-01-03
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118149265A
主分类号：F17C5/00
分类号：F17C5/00;F17C13/00;F17C13/04;F17C13/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要：本申请涉及一种NF3充装尾气回收的装置和方法，具体包括：平衡罐和冷阱，所述平衡罐进口接充装尾气，平衡罐出口管路上设置有平衡罐出口调节阀，冷阱进口连通充装排上钢瓶残气、称重余气和平衡罐出口，冷阱的出气口连通汽化器的进气口，汽化器上设置回流管路，用于维持冷阱内液体流出的压力差，汽化器出口连通NF3储罐。本申请还提供一种NF3充装尾气回收的方法，基于本申请的装置，有效地回收了NF3充装尾气。本申请不仅在一套装置中高效的实现了充装尾气的回收，也保证了分析仪器后压力的稳定，避免分析结果受到影响，设备及方法简单，效率较高，成本低。
主权项：1.一种NF3充装尾气回收的装置，其特征在于，包括：平衡罐A和冷阱B，所述平衡罐A进气口连通充装尾气S1，所述平衡罐A出口管路上设置有出口调节阀1，所述冷阱B进气口连通充装排上钢瓶残气S2、称重余气S3和所述平衡罐A出气口，所述冷阱B的出气口连通汽化器C的进气口，所述汽化器C上设置回流管路，所述汽化器C出气口连通NF3储罐D。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种NF3充装尾气回收的装置和方法
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