龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
申请日：2022-12-07
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118142415A
主分类号：B01F35/71
分类号：B01F35/71;B01F35/83;B01F101/23
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明提供了一种自动溶液配制装置及方法，所述自动溶液配制装置包括：旋转阀，其包括一个共用通孔和多个选用通孔，通过受控的自动旋转所述旋转阀能够将所述共用通孔与一个选用通孔通过内部通路连通，其中所述选用通孔分别通过所述管线与气源、清洗液、第二原液、第一原液和配置溶液连通；注射泵，其包括步进电机、注射器和阀头，所述阀头包括第一、第二连通端口和驱动端口，第二连通端口通过管线排出废液，所述驱动端口受控的与第一连通端口和第二连通端口中的一个连通；储液环，其一端与所述旋转阀的共用通孔连通，另一端与所述阀头的第一端口连通。通过所述自动溶液配制装置能够实现各种配置溶液的自动配制，交叉污染低，配制比例精确。
主权项：1.一种自动溶液配制装置，其特征在于，其包括：管线；旋转阀，其包括一个共用通孔和多个选用通孔，通过控制所述旋转阀旋转能够将所述共用通孔与多个选用通孔中的一个通过内部通路连通，其中至少一个选用通孔通过所述管线与气源连通，一个选用通孔通过所述管线接入清洗液，一个选用通孔通过所述管线接入第一原液，一个选用通孔通过所述管线接入第二原液，一个选用通孔通过所述管线排出废液，一个选用通孔通过所述管线排出配置溶液；注射泵，其包括步进电机、注射器和阀头，所述注射器包括形成腔体的筒体和容纳于所述腔体内的活塞，所述阀头包括第一连通端口、第二连通端口和驱动端口，所述驱动端口与所述腔体连通，第二连通端口通过管线排出废液，所述驱动端口受控的与第一连通端口和第二连通端口中的一个连通，所述步进电机能够驱动所述活塞运动，从而将流体吸入或排出所述腔体；储液环，其一端与所述旋转阀的共用通孔连通，另一端与所述阀头的第一端口连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡华瑛微电子技术有限公司 自动溶液配制装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号