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一种团簇富压反应与大通量选质软沉积装置及方法 

申请/专利权人:中国科学院化学研究所

申请日:2022-07-26

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN115290738B

主分类号:G01N27/62

分类号:G01N27/62

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.07#授权;2022.11.22#实质审查的生效;2022.11.04#公开

摘要:本发明公开了一种团簇富压反应与大通量选质软沉积装置及方法。所述选质软沉积装置包括依次连接的层流反应管、团簇选质软沉积装置和锥形八极杆腔体;团簇选质软沉积装置包括软沉积腔体,软沉积腔体内设有静电透镜组、偏转式加速场和软沉积平台;静电透镜组实现对团簇离子的聚焦和动能调节,静电透镜组的入口与软沉积腔体的入口连接,出口与偏转式加速场的入口连接;偏转式加速场的出口端靠近上部设有团簇软沉积孔,靠近下部设有团簇检测孔;软沉积平台设于团簇软沉积孔处。本发明将气相团簇的反应、检测与软沉积相结合,能够在进行质谱实验过程中方便地使用软沉积功能,并且在软沉积过程中对气相团簇的信号进行实时监控。

主权项:1.一种团簇富压反应与大通量选质软沉积装置,包括依次连接的层流反应管、团簇选质软沉积装置和锥形八极杆腔体;所述团簇选质软沉积装置包括软沉积腔体,所述软沉积腔体内设有静电透镜组、偏转式加速场和软沉积平台;所述静电透镜组实现对团簇离子的聚焦和动能调节,所述静电透镜组的入口与所述软沉积腔体的入口连接,出口与所述偏转式加速场的入口连接;所述偏转式加速场的出口端靠近上部设有团簇软沉积孔,靠近下部设有团簇检测孔;所述软沉积平台设于所述团簇软沉积孔处。

全文数据:

权利要求:

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