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质谱仪和通过质谱分析气体的方法 

申请/专利权人:莱宝有限责任公司

申请日:2019-08-12

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN113169028B

主分类号:H01J49/04

分类号:H01J49/04

优先权:["20180927 DE 102018216623.4"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要:本发明涉及一种用于通过质谱分析来分析气体(2)的质谱仪(1),包括:可控入口系统(6),用于将待分析的气体(2)从质谱仪(1)外部的处理区域(4)脉冲供给到电离区域(11)中;用于电离在电离区域(11)中待分析的气体(2)的电离装置(14);离子转移装置(21),用于将电离气体(2a)从所述电离区域(11)经由离子转移区域(20)转移到分析区域(25)中;以及分析仪(26),用于检测所述分析区域(25)中的电离气体(2a)。本发明还涉及一种用于通过质谱分析来分析气体的相关联的方法。

主权项:1.一种用于通过质谱来分析气体2的质谱仪1,包括:可控入口系统6,用于将待分析的气体2从质谱仪1外部的处理区域4脉冲供给到电离区域11中,用于电离在电离区域11中待分析的气体2的电离装置14,离子转移装置21,用于将电离气体2a从所述电离区域11经由离子转移区域20转移到分析区域25中,以及分析仪26,用于检测所述分析区域25中的电离气体2a,所述入口系统6具有呈波纹软管9形式的过滤装置,用于过滤腐蚀性气体3a。

全文数据:

权利要求:

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