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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2019-09-05
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN112703576B
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32;H01L21/67;H01L21/66
优先权：["20180912 US 62/730,320"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2021.09.17#实质审查的生效;2021.04.23#公开
摘要：提供了一种用于测量部件的关键表面上的污染的设备。提供了用于安装所述部件的容器。惰性气体源与所述容器流体连接且适用于提供惰性气体到所述容器。至少一个扩散器接收来自所述容器的所述惰性气体，其中当所述部件安装在所述容器中时，所述部件的所述关键表面暴露于所述惰性气体。至少一个分析器适用于接收来自所述至少一个扩散器的所述惰性气体且测量所述惰性气体中的污染物。
主权项：1.一种用于测量部件的关键表面上的污染的设备，其包含：容器，其用于安装所述部件；惰性气体源，其与所述容器流体连接且适用于提供惰性气体到所述容器，其中当所述部件安装在所述容器中时，所述部件的所述关键表面暴露于所述惰性气体；至少一个扩散器，其用于接收来自所述容器的所述惰性气体；以及至少一个分析器，其适用于接收来自所述至少一个扩散器的所述惰性气体且测量所述惰性气体中的污染物，其中所述容器适用于在所述部件的所述关键表面周围形成气体密封，且其中所述容器适用于使所述惰性气体流过所述部件的所述关键表面的至少90%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于测量颗粒的方法和设备
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