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申请/专利权人：互应化学工业株式会社
申请日：2021-11-12
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN114509919B
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;G03F7/32;C08G59/16;C08G59/17;G03F7/031
优先权：["20201116 JP 2020-190239"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2022.06.03#实质审查的生效;2022.05.17#公开
摘要：本发明提供一种层间绝缘膜的制造方法，其能够制造镀铜密合性优异的层间绝缘膜。层间绝缘膜的制造方法具备被膜形成工序、曝光工序和热固化工序。在上述被膜形成工序中，形成感光性组合物的被膜，该感光性组合物含有A含羧基树脂、B光聚合引发剂、C光聚合性化合物以及D环氧树脂。在上述曝光工序中，以3mWcm2～300mWcm2的照度对上述被膜曝光320nm～390nm的波长的紫外线。在上述热固化工序中，使上述曝光工序后的被膜在140℃以上的温度进行热固化。
主权项：1.一种层间绝缘膜的制造方法，具备如下工序：形成感光性组合物的被膜的工序，所述感光性组合物含有A含羧基树脂、B光聚合引发剂、C光聚合性化合物以及D环氧树脂，以3mWcm2～300mWcm2的照度对所述被膜曝光320nm～390nm的波长的紫外线，使所述感光性组合物中的双键反应率为20％～70％的工序，以及使所述曝光工序后的被膜在140℃～220℃的温度进行热固化的工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 互应化学工业株式会社 层间绝缘膜的制造方法和层间绝缘膜
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