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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日：2022-07-28
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN115216753B
主分类号：C23C16/505
分类号：C23C16/505;C23C16/507
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2024.01.16#著录事项变更;2022.11.08#实质审查的生效;2022.10.21#公开
摘要：本发明提供了一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备，射频电极馈入装置包括：固定环；若干射频连接器，所述射频连接器设于所述固定环；电极件，电极件，一个所述电极件对应连接一个所述射频连接器，所述电极件的一端与所述射频连接器电连接，所述电极件的另一端用于与载具电连接。本发明中的各个部件为标准化设计，通过在固定环上设置射频连接器，并通过电极件实现与载具的电连接，便于装置的维护，避免了射频放电时的异常，提高了放电的稳定性，并且降低了射频功率在传输路径上的损耗。
主权项：1.一种管式化学气相沉积设备，其特征在于，包括：固定环；若干射频连接器，所述射频连接器设于所述固定环；电极件，一个所述电极件对应连接一个所述射频连接器，所述电极件的一端与所述射频连接器电连接，所述电极件的另一端用于与载具电连接；还包括波纹管和反应炉；所述射频连接器通过所述波纹管与所述固定环连接；所述波纹管与所述固定环连接，所述固定环设有通孔，所述波纹管导通所述通孔；所述射频电极馈入装置设于所述反应炉；所述载具设于所述反应炉内，所述载具通过所述电极件与所述射频连接器连接；若干所述反应炉通过所述固定环依次拼接；其中，所述载具为石墨舟。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种射频电极馈入装置及管式化学气相沉积设备
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