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申请/专利权人：深圳大学
申请日：2022-03-03
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN114784120B
主分类号：H01L31/0224
分类号：H01L31/0224;H01L31/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2022.08.09#实质审查的生效;2022.07.22#公开
摘要：本申请涉及电极工艺技术领域，尤其涉及一种银电极的制备方法，包括如下步骤：将初始金刚石依次进行酸洗处理和等离子体处理，得到预处理金刚石；将预处理金刚石进行干燥处理，然后涂覆光刻胶层；对预处理金刚石表面的光刻胶层进行曝光、显影，形成电极图案；在预处理金刚石表面的电极图案上沉积金属银，然后去胶处理，得到银电极。该制备方法可以使金刚石表面与金属银稳定结合，不仅可以提高光刻成功率，而且得到的银电极具有很好的光响应性能，在金刚石器件制备中具有很好的应用。
主权项：1.一种银电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将初始金刚石依次进行酸洗处理和等离子体处理，得到预处理金刚石；其中，所述酸洗处理的步骤包括：将所述初始金刚石置于硝酸和硫酸的混合液中进行第一清洗处理，然后置于盐酸溶液中进行第二清洗处理，再置于氢氟酸溶液中进行第三清洗处理；所述混合液由体积比为1：1的浓硝酸和浓硫酸组成；所述第一清洗处理包括：280~320℃条件下加热28~32min；所述第二清洗处理包括：120~180℃条件下加热28~32min；所述第三清洗处理包括：超声处理2~8min；所述等离子体处理包括氧等离子体处理；将所述预处理金刚石进行干燥处理，然后涂覆光刻胶层；对所述预处理金刚石表面的光刻胶层进行曝光、显影，形成电极图案；在所述预处理金刚石表面的电极图案上沉积金属银，然后去胶处理，得到银电极。
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