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申请/专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
申请日：2024-03-01
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118174679A
主分类号：H03H9/02
分类号：H03H9/02;H03H9/145
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本申请关于一种弹性波装置，涉及弹性波技术领域。本申请提供的弹性波装置，通过主面为a面、c面、m面或r面的蓝宝石基板作为支承基板，上方形成有铌酸锂薄膜，并对铌酸锂薄膜进行支承，铌酸锂薄膜上至少形成有IDT电极和反射器电极，反射器电极位于IDT电极沿弹性波传播方向上的两侧，能够抑制基于压电薄膜的复合多层结构引起的主模附近的杂波。
主权项：1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：主面为a面的蓝宝石基板，所述蓝宝石基板的欧拉角为90°±2.5°，90°±2.5°，ψ±2.5°；铌酸锂薄膜，其设置在所述蓝宝石基板上，在将弹性波的波长设为λ的前提下，所述铌酸锂薄膜的厚度小于等于λ，所述铌酸锂薄膜的欧拉角为0±2.5°，β±2.5°，0±2.5°；IDT电极，其设置在所述铌酸锂薄膜上；以及反射器电极，其设置在所述铌酸锂薄膜上，其位于所述IDT电极沿弹性波传播方向上的两侧；其中，所述铌酸锂薄膜的欧拉角中的β满足90°≤β＜97°的情况下，所述蓝宝石基板的欧拉角中的ψ为15°≤ψ≤60°或195°≤ψ≤240°；所述铌酸锂薄膜的欧拉角中的β满足97°≤β≤109°的情况下，所述蓝宝石基板的欧拉角中的ψ为0°≤ψ≤60°或90°≤ψ≤240°或270°≤ψ≤360°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡市好达电子股份有限公司 弹性波装置
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