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申请/专利权人：中国兵器装备集团自动化研究所有限公司
摘要：本发明公开了一种小直径深孔形貌测量装置及方法，该装置基于光谱共焦传感器实现深孔形貌测量，采用立式结构，装夹管类工件的旋转台采用卡盘装夹，传感器安装在支撑杆上，通过轴向机构带动传感器竖直向下进入管类工件内，完成深孔形貌测量。基于光谱共焦测量手段，可以有效扫描多个截面的小直径深孔，控制系统通过差值运算等算法生成工件内孔型面的形貌特征或圆跳动误差，计算得出工件内孔直线度、直径、表面粗糙度等特征量，实现小直径深孔形貌特征的高精度检测。
主权项：1.一种小直径深孔形貌测量装置，其特征在于，包括：底座，所述底座用于承载各部件；旋转台，所述旋转台与所述底座相连，所述旋转台用于夹持待测工件并驱动所述待测工件做旋转运动；立柱，所述立柱与所述底座相连且所述立柱的轴向与所述旋转台夹持的所述待测工件的轴向相同；轴向运动机构，所述轴向运动机构与所述立柱相连；探测组件，所述探测组件包括光谱共焦传感器以及传感器固定机构；所述传感器固定机构与所述轴向运动机构相连；其中，所述光谱共焦传感器与所述传感器固定机构的下端固定相连；所述轴向运动机构用于驱动所述探测组件上下动作，使所述光谱共焦传感器进入所述待测工件的内孔，并在所述待测工件旋转过程中对所述内孔的截面的型面进行扫描。
全文数据：
权利要求：
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