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申请/专利权人：深圳技术大学
申请日：2024-03-05
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118173637A
主分类号：H01L31/101
分类号：H01L31/101;H01L31/0232;H01L31/0352;H01L31/18
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.28#实质审查的生效;2024.06.11#公开
摘要：本发明公开了一种大角度入射的高灵敏短波红外光电探测器及其制备方法，该光电探测器包括依次连接的电极层、第一光栅结构层、量子点层和衬底层；第一光栅结构层和量子点层为材料相同的一体式结构，第一光栅结构层包括间隔排布的多个第一光栅单元，每相邻的两个第一光栅单元之间的间距为1000nm以内，每个第一光栅单元的宽度为800nm以内，每个第一光栅单元的高度为400nm以内，本发明通过调整光栅的特征参数，实现了对特定角度85°以内斜入射情况下特定偏振方向TE偏振方向、TM偏振方向短波红外SWIR波段特定波长光1000nm～2000nm的高效率吸收，满足光电探测器在特殊情况下的应用需求。
主权项：1.一种大角度入射的高灵敏短波红外光电探测器，其特征在于，包括依次连接的电极层3、第一光栅结构层41、量子点层2和衬底层1；所述第一光栅结构层41和所述量子点层2为材料相同的一体式结构，所述第一光栅结构层41包括间隔排布的多个第一光栅单元411，每相邻的两个所述第一光栅单元411之间的间距a为1000nm以内，每个所述第一光栅单元411的宽度b为800nm以内，每个所述第一光栅单元411的高度d为400nm以内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳技术大学 大角度入射的高灵敏短波红外光电探测器及其制备方法
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