申请/专利权人：杭州谱育科技发展有限公司

申请日：2020-12-31

公开（公告）日：2024-06-11

公开（公告）号：CN112863997B

主分类号：H01J49/24

分类号：H01J49/24;H01J49/00;H01J49/42

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.11#授权;2021.06.15#实质审查的生效;2021.05.28#公开

摘要：本发明提供了具有粒子消除功能的ICP‑MS，包括炬管、采样锥和真空腔；离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过所述第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔；泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线。本发明具有工作性能好等优点。

主权项：1.具有粒子消除功能的ICP-MS，所述具有粒子消除功能的ICP-MS包括炬管、采样锥和真空腔；其特征在于，所述具有粒子消除功能的ICP-MS还包括：离子偏转透镜组，所述离子偏转透镜组设置在所述真空腔的第一室内，所述真空腔的第二室内设置离子传输透镜和质量分析器；腔室，所述腔室设置在所述第一室的下侧，所述炬管竖直地设置在所述腔室内，所述采样锥设置在所述腔室内；所述炬管出射的离子穿过采样锥进入所述第一室内，经所述离子偏转透镜组偏转后进入第二室内，依次穿过第一通孔、传输透镜、质量分析器和第二通孔，随着离子进入第一室内的中性粒子由于惯性和离子分离，在泵的抽吸下，中性粒子从第一室的气体出口排出；泵，所述泵连通所述第一室的气体出口，所述气体出口偏离所述采样锥的中心轴线；所述腔室具有侧门以及位置相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁分别具有导轨，所述导轨具有限位件；所述炬管竖直地设置在所述腔室内；散热模块，所述散热模块上固定所述采样锥，所述炬管处于所述采样锥的下侧；承载件，所述承载件的相对的两侧处于所述导轨上，所述散热模块设置在所述承载件上；所述承载件的上侧与所述真空腔连接并密封；所述导轨的延伸方向与所述采样锥的中心轴线垂直；滑动件，所述滑动件的两端处于所述导轨上，所述承载件可转动地固定在所述滑动件上，转轴垂直于所述滑动件，使得采样锥随着承载件在导轨上滑动，从而拉出腔室，并绕着转轴翻转，使得采样锥朝上。

全文数据：

权利要求：

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