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申请/专利权人：芜湖映日科技股份有限公司
申请日：2023-10-23
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN221117589U
主分类号：C23C14/34
分类号：C23C14/34
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权
摘要：本实用新型公开了一种新型单节靶材绑定设备，涉及到靶材组件制造技术领域，包括固定支架，固定支架上设有加热炉、震动件，加热炉上设有铝管，铝管内设有三段靶材加热区域，每个区域都均匀分布有三根加热棒，确保加热均匀，铝管外侧套设有背管，背管外侧套设有靶筒。相较于现有技术，本实用新型通过背管分段加热和依次对靶材进行单节绑定，并且无需二次加热，解决了传统工艺靶材超铟和绑定2次升降温对靶材带来较大的内应力，较少靶材在客户端开裂和炸靶问题。同时因不需要对靶材进行单独超铟，提高了绑定效率；绑定过程中不需要使用胶带，减少绑定成本，提高了经济效应。
主权项：1.一种新型单节靶材绑定设备，包括固定支架，其特征在于，所述固定支架上设有加热炉5、震动件6，加热炉5上设有铝管10，铝管10内设有三段靶材加热区域，每个区域都均匀分布有三根加热棒9，确保加热均匀，铝管10外侧套设有背管7，背管7外侧套设有靶筒8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种新型单节靶材绑定设备
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