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申请/专利权人：四川大学
摘要：本发明公开了一种基于自参考外差干涉复振幅重构方法与装置。所述复振幅重构方法包括几个重要步骤，其中包括光路调试、图像采集、图像数据处理、单光束复振幅重建。所述测量装置包括光源系统、放大系统、外差干涉系统和图像采集系统，光源系统出射激光光束，光束穿透被测物体并携带物体的复振幅信息，经过放大系统进行放大，再经过外差干涉系统进行自参考外差干涉，最后经过图像采集系统进行采集。基于本发明能够高精度重建光波的复振幅信息，并且本发明相较于常规外差干涉方案有着更紧凑的结构、更低的实现成本，相较于常规干涉测量装置有着更高稳定性、准确度。
主权项：1.一种基于自参考外差干涉复振幅重构方法与装置，主要包括复振幅重构方法以及测量装置，其特征在于：所述复振幅重构方法包括几个重要步骤，其中包括光路调试、图像采集、图像数据处理、单光束复振幅重建；所述测量装置包括光源系统1，放大系统2，外差干涉系统3，和图像采集系统4，所述的光源系统1由激光器构成，所述的放大系统由被测样品2a、样品台2b、显微物镜2c、凸透镜2d组成，所述的外差干涉系统由凸透镜3a、光栅3b、线性平移台3c、步进电机3d、光阑3e、凸透镜3f构成，所述的图像采集系统4由COMS4a相机构成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川大学 一种基于自参考外差干涉复振幅重构方法与装置
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