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申请/专利权人：成都芯极客科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体晶圆生产技术领域，具体涉及一种动态空挡片调度方法，包括以下步骤：S1、配置一盒内置空挡片以及多盒外置空挡片；S2、将内置空挡片置于加工晶圆的机台内，将多盒外置空挡片置于机台外；S3、在机台工作时，根据本次工作的制程参数计算所需的空挡片数量；S4、当所需的空挡片数量不超过一个整批时，则使用机台内的内置空挡片来填充空槽位，内置空挡片与量产晶圆一起出机台；当所需的空挡片数量超过一个整批时，则调度使用外置空挡片来填充空槽位，外置空挡片与量产晶圆一起进出机台。本发明可提高空挡片的利用率，减少空挡片的投入数量，进而减少生产晶圆的投入成本。
主权项：1.一种动态空挡片调度方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、配置一盒内置空挡片以及多盒外置空挡片；S2、将内置空挡片置于加工晶圆的机台内，将多盒外置空挡片置于机台外；S3、在机台工作时，根据本次工作的制程参数计算所需的空挡片数量；S4、当所需的空挡片数量不超过一个整批时，则使用机台内的内置空挡片来填充空槽位，内置空挡片与不同量产晶圆一起出机台，且内置空挡片具有独立的出机台机制；当所需的空挡片数量超过一个整批时，则调度使用外置空挡片来填充空槽位，外置空挡片与量产晶圆一起进出机台。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都芯极客科技有限公司 动态空挡片调度方法
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