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申请/专利权人：中国工程物理研究院流体物理研究所
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118190776A
主分类号：G01N17/00
分类号：G01N17/00;G01B11/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了激光辐照光学元件的损伤形貌变化瞬态诊断系统及方法，涉及激光损伤诊断技术领域，系统包括：激光器、光学快门、加载诊断光路、光学标准具和光学相机；激光器用于以特定频率发出脉冲激光；脉冲激光交替通过光学快门，经分束镜、反射镜等分成两束照射至待测光学表面，对光学元件造成持续间断的损伤，由光学相机记录下每次损伤的干涉图像，实现对损伤动态过程的瞬时记录，补充准确的损伤过程瞬态数据为损伤机理的准确研究提供了数据基础。
主权项：1.激光辐照光学元件的损伤形貌变化瞬态诊断系统，其特征在于，包括：激光、光学快门、加载诊断光路、光学标准具和光学相机；所述激光器用于以特定频率发出脉冲激光；所述光学快门设置在脉冲激光的传播方向上，用于控制脉冲激光交替通过；所述加载诊断光路包括第一分束镜、第二分束镜、第三分束镜、第一平面反射镜、光路延迟装置和第二平面反射镜；所述第一分束镜设置在光学快门后，用于对通过所述光学快门的脉冲激光进行反射和透射，得到第一反射光和第一透射光；所述第一平面反射镜设置在第一反射光的传播方向上，用于将所述第一反射光反射至待测光学元件的第一表面；所述光路延迟装置设置在第一透射光的传播方向上，用于将第一透射光反射至所述第二分束镜；所述第二分束镜对第一透射光进行透射和反射，得到第二透射光和第二反射光；所述第二透射光照射至所述待测光学元件的第一表面，并依次经待测光学元件表面和第二平面反射镜反射至所述第三分束镜；所述第二反射光经过光学标准具调节以及第三分束镜透射后与所述第二透射光发生干涉；所述光学相机用于记录干涉条纹图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院流体物理研究所 激光辐照光学元件的损伤形貌变化瞬态诊断系统及方法
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