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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日：2024-03-06
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118198182A
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L21/306;H01L31/0224;H01L31/0236
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明提供一种硼发射极金属化前处理方法及应用，硼发射极金属化前处理方法包括以下步骤：对半电池正面进行图案化处理，露出部分硼发射极，用腐蚀液对硼发射极进行腐蚀处理，形成表面活性位点，所述腐蚀液的组分包括水、硝酸银、氢氟酸、过氧化氢和异丙醇。本发明通过使用高酸度氧化剂溶液进行腐蚀处理，可以去除正面硼发射极表面的氧化层和杂质，同时形成微细的凹陷和粗糙的表面结构，形成细小的活性位点，从而增大正面硼发射极和金属之间的结合力。
主权项：1.一种硼发射极金属化前处理方法，其特征在于，包括以下步骤：对半电池正面进行图案化处理，露出部分硼发射极，用腐蚀液对硼发射极进行腐蚀处理，形成表面活性位点，所述腐蚀液的组分包括水、硝酸银、氢氟酸、过氧化氢和异丙醇。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种硼发射极金属化前处理方法及应用
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