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靶胚机械加工装置及机械加工方法 

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申请/专利权人:武汉江丰电子材料有限公司

摘要:本发明涉及应力检测技术领域,具体公开了靶胚机械加工装置及机械加工方法。该装置包括定位模块、龙门铣刀和应力检测模块;定位模块选择性吸附靶坯的底部;龙门铣刀用于沿工作轨迹铣削靶坯的顶部;应力检测模块能在检测位置与规避位置之间移动,处于检测位置的应力检测模块能测量靶坯顶部的表面残余应力;处于规避位置的应力检测模块避让工作轨迹。该装置利用应力检测模块进行表面残余应力的检测,可以确认加工后表面的残余应力的情况,实现对靶坯表面的加工质量进行实时监控;以上结构改进得以检测龙门铣刀的加工效果,量化龙门铣刀的加工输出特性,有助于精益化生产。

主权项:1.靶胚机械加工装置,用于加工靶坯900,其特征在于,包括:定位模块100,选择性吸附所述靶坯900的底部;龙门铣刀200,用于沿工作轨迹铣削所述靶坯900的顶部;应力检测模块300,能在检测位置与规避位置之间移动,处于所述检测位置的所述应力检测模块300能测量所述靶坯900顶部的表面残余应力;处于所述规避位置的所述应力检测模块300避让所述工作轨迹。

全文数据:

权利要求:

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