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申请/专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体器件生产技术领域，具体公开了一种NMP废液的残余金属回收装置，该装置应用在半导体生产的NMP剥离机中，包括控制器以及依次通过管道连接的：NMP废液接收管，NMP废液接收管上设有第一流量计；缓冲罐，缓冲罐内具有液位计；粗过滤器；驱动泵；精过滤器，其输出端上设有第二流量计；控制器用于在液位信息在预设液位范围内时，基于功率曲线控制驱动泵驱动NMP废液流动，以及还用于在液位信息在超出预设液位范围后，基于PID控制策略根据第二流量信息和目标流量信息调节驱动泵的运行功率;该装置能避免缓冲罐内囤积过多NMP废液而反涌至NMP废液接收管中而影响NMP剥离机的NMP废液排放效率。
主权项：1.一种NMP废液的残余金属回收装置，应用在半导体生产的NMP剥离机中，其特征在于，所述NMP废液的残余金属回收装置包括控制器以及依次通过管道连接的：NMP废液接收管，所述NMP废液接收管上设有第一流量计，用于采集第一流量信息；缓冲罐，所述缓冲罐内具有液位计，用于采集液位信息；粗过滤器，用于对NMP废液进行粗过滤处理；驱动泵，用于驱动NMP废液在管道内流动；精过滤器，用于对粗过滤处理后的NMP废液进行精过滤处理，其输出端上设有第二流量计，用于采集第二流量信息；所述控制器用于在所述液位信息在预设液位范围内时，根据预先输入的剥离类型信息获取功率曲线，并基于所述功率曲线控制所述驱动泵驱动NMP废液流动；所述控制器还用于在所述液位信息在超出预设液位范围后，根据所述第一流量信息生成目标流量信息，并基于PID控制策略根据所述第二流量信息和目标流量信息调节所述驱动泵的运行功率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州市艾佛光通科技有限公司 NMP废液的残余金属回收装置
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