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芯片测试机的校准方法及校准装置 

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申请/专利权人:苏州华兴源创科技股份有限公司

摘要:本申请涉及一种芯片测试机的校准方法及校准装置。通过对驱动模块在多个预设点位实际输出的驱动值进行整体校准,并获取整体校准后的预设点位的第一校准值与第一预期值之间的第一误差,若存在第一误差大于驱动模块的第一设定误差的目标预设点位,则确定基于目标预设点位的第一校准值和第一误差的第二校准值,并基于目标预设点位的第二校准值对驱动模块进行二次局部校准,以补偿驱动模块基于目标预设点位的误差,即调整驱动模块在目标预设点位的驱动值,使其能够满足驱动模块的第一设定误差,使得校准后的驱动模块的整体测试精度能够满足要求,从而能够适用于对精度要求较高的测试场景。

主权项:1.一种芯片测试机的校准方法,其特征在于,所述芯片测试机包括驱动模块,所述方法包括:对所述驱动模块在多个预设点位实际输出的驱动值进行整体校准;获取整体校准后的所述预设点位的第一校准值与第一预期值之间的第一误差,所述第一预期值与所述预设点位对应;若存在所述第一误差大于所述驱动模块的第一设定误差的目标预设点位,则确定基于所述目标预设点位的第一校准值和所述第一误差的第二校准值;基于所述目标预设点位的第二校准值对所述驱动模块进行二次局部校准,以调整所述驱动模块在所述目标预设点位的驱动值均满足所述驱动模块的第一设定误差。

全文数据:

权利要求:

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