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申请/专利权人：深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司
摘要：本公开公开了离子注入机的校准设备及校准方法，所述校准设备包括：基准装置，所述基准装置包括具有基准狭缝的基准柱，所述基准狭缝的中心面与所述离子注入机的理论离子束流中心位置沿纵向方向对准；和激光生成装置，所述激光生成装置用于通过所述基准装置运动至基准发射位置来发射激光束，以模拟所述离子注入机的理论离子束流中心位置。该校准设备填补了离子注入机出厂前及部件更换后的位置确认环节的空白。
主权项：1.一种用于离子注入机的校准设备，所述校准设备包括：基准装置，所述基准装置包括具有基准狭缝的基准柱，所述基准狭缝的中心面与所述离子注入机的理论离子束流中心位置沿纵向方向对准；和激光生成装置，所述激光生成装置用于通过所述基准装置运动至基准发射位置来发射激光束，以模拟所述离子注入机的理论离子束流中心位置；其中，所述激光生成装置被构造成朝向所述基准柱发射第一激光束，所述基准装置根据所述第一激光束和所述基准狭缝之间的纵向对准将所述激光生成装置运动至所述基准发射位置，在所述基准发射位置中，所述第一激光束在纵向方向上和所述离子注入机的理论离子束流中心位置精确对准；其中，在所述基准发射位置处，所述激光生成装置被构造成朝向所述离子注入机的部件发射第二激光束，并且根据所述第二激光束和所述部件的离子束流中心位置之间的偏差，来检测和校准所述部件的离子束流中心位置相对于所述离子注入机的理论离子束流中心位置的精准度。
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权利要求：
百度查询： 深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司 离子注入机的校准设备及校准方法
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