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申请/专利权人：无锡华润上华科技有限公司
摘要：本发明提供了一种擦片派货方法、擦片派货系统及可读存储介质，通过系统实现待擦片晶圆的跳步动作，由此可以解放人力，降低制造成本，提升机台使用效率。其中，在待擦片晶圆的数量超过了擦片机台的承载量时，判断待擦片晶圆所属的主工艺站点是高风险站点还是低风险站点，并对低风险站点的待擦片晶圆执行跳步动作，从而提高了跳步的可靠性，同时，也保证了产品的质量与可靠性。进一步的，还考虑了关键指标以及工艺机台的工况，即通过对工艺特征，工艺稳定性以及产品特征等多维度数据判断，进一步提高了跳步的可靠性，同时，也保证了产品的质量与可靠性。
主权项：1.一种擦片派货方法，其特征在于，所述擦片派货方法包括：获取待擦片晶圆的数量，并与擦片机台的承载量进行比较；若所述待擦片晶圆的数量超过所述擦片机台的承载量，则获取各所述待擦片晶圆所属的主工艺站点，其中，所述主工艺站点包括第一类主工艺站点和第二类主工艺站点，所述第一类主工艺站点的风险高于所述第二类主工艺站点的风险；若所述待擦片晶圆所属的主工艺站点为第二类主工艺站点，则对该待擦片晶圆执行跳步动作。
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百度查询： 无锡华润上华科技有限公司 擦片派货方法、系统及可读存储介质
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