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申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要：本发明揭示了一种激光扫描系统和方法，该方法中同时进行MEMS微镜扫描和转镜扫描，其中，对MEMS微镜在振动时产生的正弦反馈信号进行调理，输出第一波形信号；采集转镜扫描过程中镜面的角位移信号并输出第二波形信号；控制第一波形信号和第二波形信号具有相同的频率，且相位差为0。本发明通过MEMS微镜与转镜的同步扫描方案，既能实现较高的扫描频率，也能获得较大的扫描角度。
主权项：1.一种激光扫描系统，其特征在于，包括MEMS微镜扫描模块和转镜扫描模块，所述的MEMS微镜扫描模块和转镜扫描模块由同一控制模块进行控制，MEMS微镜扫描模块包括MEMS微镜、信号放大器、过零比较器和分频器，MEMS微镜在振动时产生正弦反馈信号，该正弦反馈信号经信号放大器提取，并经过过零比较器得到方波信号，分频器对该方波信号进行分频处理，使其与转镜扫描模块产生的方波信号具有相同频率，所述控制模块包括主控制器和DDS驱动模块，DDS驱动模块包括DDS芯片、滤波电路和放大器，DDS芯片与主控制器连接，DDS芯片的输出信号依次经过滤波电路的滤波以及放大器的放大后对MEMS微镜扫描模块进行驱动，所述的转镜扫描模块包括电机和镜面，所述电机连接于镜面并可带动其偏转，所述的转镜扫描模块还包括传感模块，该传感模块采集镜面的角位移信号并输出方波信号，主控制器负责配置DDS芯片产生期望的驱动信号，同时对传感模块产生的方波信号进行处理，得到电机的转速，通过控制PWM波占空比控制电机转速稳定，同时对分频后的MEMS微镜反馈信号进行处理，得到MEMS微镜反馈信号与传感模块产生的方波信号的相位差，通过调节DDS输出驱动信号的相位差，使相位差趋近于0，得到同步扫描的效果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 激光扫描系统和方法
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