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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

摘要：本发明提供一种采样信号同步控制系统，包括硅片对准测量模块、以及工件台位置测量模块；其中，所述硅片对准测量模块包括通过外同步总线、内同步总线、以及管理和数据总线连接的对准测量CPU板卡、对准测量同步控制板卡、对准测量数据交换板卡、对准测量并行计算板卡、对准光电解调采集板卡；所述工件台位置测量模块包括通过自定义总线、以及管理总线连接的位置测量CPU板卡、位置测量同步控制板卡、位置测量计数板卡。本发明提供的技术方案可有效解决采样信号同步误差大、同步脉冲触发失效和同步节拍漏拍以及系统可靠性低等问题。

主权项：1.一种采样信号同步控制系统，其特征在于，包括硅片对准测量模块、以及工件台位置测量模块；其中，所述硅片对准测量模块包括通过外同步总线、内同步总线、以及管理和数据总线连接的对准测量CPU板卡、对准测量同步控制板卡、对准测量数据交换板卡、对准测量并行计算板卡、对准光电解调采集板卡；所述工件台位置测量模块包括通过自定义总线、以及管理总线连接的位置测量CPU板卡、位置测量同步控制板卡、位置测量计数板卡；其中，所述对准测量同步控制板卡的三个脉冲计数单元分别对所述位置测量同步控制板卡发送的同步脉冲、以及对所述对准光电解调采集板卡返回的脉冲应答进行计数，所述对准测量同步控制板卡的脉冲比对单元实时对三个脉冲计数单元的脉冲计数值进行比对，当三个脉冲计数值一致且等于拨码数值的整数倍时，产生异步中断信号并发送到所述对准测量并行计算板卡，通知其保存所述对准测量数据交换板卡发送的采样数据，当三个脉冲计数值不一致时，产生异步清零信号并发送到所述位置测量同步控制板卡通知其清零时间戳值；其中，所述对准光电解调采集板卡包括第一对准光电解调采集板卡和第二对准光电解调采集板卡；其中，所述位置测量同步控制板卡作为所述工件台位置测量模块多轴位置解算单元，实时将所述位置测量计数板卡采集到的双频激光干涉仪多轴干涉光强信号解算为工件台位置数据，按规定的帧格式组帧后形成干涉仪多轴位置数据发送到所述对准测量数据交换板卡；其中，所述位置测量计数板卡为双频激光干涉仪测量轴干涉光信号采集板卡，每块所述位置测量计数板卡包含多个并行光电信号采集通道，可同时对N个测量轴的干涉光信号进行数据采集。

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权利要求：

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