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申请/专利权人：皮尔金顿集团有限公司
申请日：2020-02-14
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN113454038B
主分类号：C03C17/00
分类号：C03C17/00;C23C16/458;C23C16/52;G01D5/24;G01R27/26
优先权：["20190214 GB 1902032.0"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权;2022.03.04#实质审查的生效;2021.09.28#公开
摘要：一种化学气相沉积CVD涂敷机和至少一个电容式接近传感器的组合体，包括：CVD涂敷机，和至少一个电容式接近传感器，其附接到所述CVD涂敷机，其中所述至少一个电容式接近传感器被布置成确定玻璃基板与所述CVD涂敷机之间的距离。
主权项：1.一种化学气相沉积CVD涂敷机和至少一个电容式接近传感器的组合体，包括：CVD涂敷机，和至少一个电容式接近传感器，其附接到所述CVD涂敷机，其中，所述至少一个电容式接近传感器被布置成确定玻璃基板与所述CVD涂敷机之间的距离，并且其中，所述组合体适合在浮法玻璃制造工艺中使用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 皮尔金顿集团有限公司 确定玻璃基板和涂敷机之间距离的装置和方法
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