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申请/专利权人：浙江海纳半导体股份有限公司
摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种抛光布粘贴工具。包括用于将抛光布同圆心定位在抛盘顶面上的中心定位块，以及与中心定位块配合、用于将抛光布平整粘贴在抛盘上的压紧杆和压紧轮；抛盘的顶面中心处开设有中心螺纹孔；中心定位块包括从下至上依次一体成型的外螺纹杆、定位盘、安装柱和限位块；压紧杆的其中一端安装有两根夹杆；压紧轮活动套接在压紧杆外侧。该抛光布粘贴工具通过在抛光布中心预开中心孔，再配合中心定位块进行辅助，可以解决中心孔边缘毛边、渗液以及平整度异常的问题；通过增设配套的压紧杆和压紧轮，可以解决刮压不匀问题；该结构尤其针对大直径抛盘，使得人员臂展不足位置的粘合度得到保证，防止抛光布脱胶异常。
主权项：1.一种抛光布粘贴工具，其特征在于：包括用于将抛光布2同圆心定位在抛盘1顶面上的中心定位块3，以及与所述中心定位块3配合、用于将所述抛光布2平整粘贴在所述抛盘1上的压紧杆4和压紧轮5；所述抛盘1的顶面中心处开设有用于安装所述中心定位块3的中心螺纹孔11；所述中心定位块3包括从下至上依次一体成型的外螺纹杆31、定位盘32、安装柱33和限位块34；所述压紧杆4的其中一端安装有两根用于夹接在所述安装柱33外侧的夹杆41；所述压紧轮5活动套接在所述压紧杆4外侧，用于对抛光布2进行辊压贴平操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江海纳半导体股份有限公司 一种抛光布粘贴工具
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