申请/专利权人:无锡华兆泓光电科技有限公司
申请日:2023-09-27
公开(公告)日:2024-06-14
公开(公告)号:CN221148017U
主分类号:G01M11/02
分类号:G01M11/02;G01J1/42
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.14#授权
摘要:本申请适用于紫外线技术领域,提供一种测量紫外线的装置,所述装置包括:非氧气气体容纳器,具有紫外线光源放置部和用于容纳非氧气气体的内腔;紫外线测量探头,设置于所述非氧气气体容纳器以接收从所述内腔传播来的光。本申请的实施例提供的测量紫外线的装置能提高确定波长为185nm的紫外线的输出量的准确性。
主权项:1.一种测量紫外线的装置,其特征在于,包括:非氧气气体容纳器,具有紫外线光源放置部和用于容纳非氧气气体的内腔;紫外线测量探头,设置于所述非氧气气体容纳器以接收从所述内腔传播来的光。
全文数据:
权利要求:
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