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申请/专利权人：南通元激发科技有限公司
申请日：2023-09-11
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221141839U
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型涉及薄膜太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种近空间升华装置，包括升华容器、充气阀、出气阀、手摇杆与电容真空计；本实用新型中使用石墨加热内嵌石英坩埚或者陶瓷槽体，石英、氧化铝、氮化硼这些材料高温时释放杂质少，使用石英及陶瓷作为槽体接触待升华的材料，以减少杂质气体的释放，对材料的污染小，可有效改善近空间升华的源加热装置，且上、下加热管采用石英灯管，杂质释放量更少，避免漏电风险，最终获得高品质的沉积薄膜。
主权项：1.一种近空间升华装置，其特征在于：包括升华容器、充气阀、出气阀、手摇杆与电容真空计；所述升华容器为一空心球体结构，其上分别开设有进气口、出气口与真空检测口，并分别安装有所述充气阀、出气阀与电容真空计；所述升华容器内部上下依次设置有上石墨升降结构、上加热管、上加热石墨、玻璃片、下加热石墨与下加热管，且上加热石墨、玻璃片与下加热石墨均水平设置，且玻璃片设在上加热石墨的底部中央位置处，下加热石墨顶部中央设有内嵌件，且上加热石墨与下加热石墨上均设有热偶孔；所述手摇杆竖直设置，其底部穿进所述升华容器并与所述上石墨升降结构连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通元激发科技有限公司 一种近空间升华装置
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