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申请/专利权人：四川鸿源鼎芯科技有限公司
申请日：2023-10-30
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149146U
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型属于光刻机技术领域，公开了一种手动双工位光刻机，包括机架，机架上设有固定平台和回转平台，固定平台上设有龙门架和光源安装架，龙门架上设有左对位镜头和右对位镜头，光源安装架上设有平行光源，回转平台上对称设有两个工位组件，一个工位组件位于平行光源下方时，另一个工位组件位于龙门架下方。本实用新型的手动双工位光刻机使用时，人工将硅片放置在第一工位组件上并对位标记，第一工位组件旋转180°至平行光源下方进行曝光，曝光的同时，操作人员在第二工位组件重复第一工位组件的操作，曝光完成后的第一工位组件旋转180°，将曝光后的硅片取出即可，该手动双工位光刻机能够有效提高工作效率，保证操作的准确性。
主权项：1.一种手动双工位光刻机，其特征在于：包括机架1，机架1上设有固定平台2和回转平台19，固定平台2上设有龙门架5和光源安装架7，龙门架5上设有左对位镜头6和右对位镜头9，光源安装架7上设有平行光源8，回转平台19上对称设有两个工位组件，一个工位组件位于平行光源8下方时，另一个工位组件位于龙门架5下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川鸿源鼎芯科技有限公司 手动双工位光刻机
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