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一种光刻胶连续配胶系统 

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申请/专利权人:徐州博康信息化学品有限公司

摘要:本实用新型涉及一种光刻胶连续配胶系统,包括一个或多个循环过滤模块,以及与所述循环过滤模块连通的配胶装置,其中所述循环过滤模块包括:配料装置以及循环管路,所述循环管路的两端分别与所述配料装置的出料口和进料口连通;所述循环管路上设置有循环泵和配料过滤器。本实用新型通过循环泵、过滤器可将各个原料的溶液循环过滤,合格后再注入配胶釜,保证原料质量的合格及稳定性;光刻胶树脂经过循环过滤,可降低金属离子含量,金属离子含量在光刻胶质量控制中起到重要作用,因此可以一定程度上改善光刻胶质量。

主权项:1.一种光刻胶连续配胶系统,其特征在于,包括一个或多个循环过滤模块,以及与所述循环过滤模块连通的配胶装置,其中所述循环过滤模块包括:配料装置以及循环管路,所述循环管路的两端分别与所述配料装置的出料口和进料口连通;所述循环管路上设置有循环泵和配料过滤器。

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权利要求:

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