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申请/专利权人：株式会社PFA
摘要：一种异物去除装置、异物去除方法及非暂时性存储介质，所述异物去除装置包括：第一保持部件，形成为在下侧的端部形成有圆形的第一开口的筒状，通过将内部的内压相对于大气压而设为负压，从而将粘接性的凝胶状的弹性体的颗粒吸附保持于第一开口；第二保持部件，形成为在上侧的端部形成有圆形的第二开口的筒状，通过将内部的内压设为负压，从而将颗粒吸附保持于第二开口；第一驱动部件，驱动第一保持部件或第二保持部件，以使第二保持部件的第二开口与第一保持部件的第一开口靠近或远离；以及第二驱动部件，驱动第一保持部件或第二保持部件，以改变第二保持部件的第二开口与第一保持部件的第一开口的相对角度位置。
主权项：1.一种异物去除装置，将粘接性的凝胶状的弹性体的颗粒按压至附着在作为半导体元件或光学零件的对象物的表面的异物而去除所述异物，所述异物去除装置包括：第一保持部件，形成为在下侧的端部形成有圆形的第一开口的筒状，通过将内部的内压相对于大气压而设为负压，从而将粘接性的凝胶状的弹性体的所述颗粒吸附保持于所述第一开口；第二保持部件，形成为在上侧的端部形成有圆形的第二开口的筒状，通过将内部的内压相对于大气压而设为负压，从而将粘接性的凝胶状的弹性体的所述颗粒吸附保持于所述第二开口；第一驱动部件，驱动所述第一保持部件或所述第二保持部件，以使所述第二保持部件的所述第二开口与所述第一保持部件的所述第一开口靠近或远离；以及第二驱动部件，驱动所述第一保持部件或所述第二保持部件，以改变所述第二保持部件的所述第二开口与所述第一保持部件的所述第一开口的相对角度位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社PFA 异物去除装置、异物去除方法及非暂时性存储介质
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