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申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
摘要：本发明涉及电极陶瓷基座及准分子激光器和减弱激波的方法,本发明通过在陶瓷基板上设置一个或多个激波减弱结构，并通过将激波减弱结构设置为由多个凹槽和多个绝缘条交替设置的结构，和通过将多个所述绝缘条之间的高度设置为不同；和或，多个绝缘条的结构设置为悬设绝缘条；和或，将多个所述凹槽之间的宽度和或深度设置为不同的方式，来使得进入所述激波减弱结构的激波反射回放电区域的时间不同，从而减弱激波对放电区域的线宽造成的影响。
主权项：1.一种电极陶瓷基座10，其特征在于，包括：陶瓷基板11，电极12，其设置在陶瓷基板11上；以及至少一激波减弱结构13，其包括设置在所述陶瓷基板11上且间隔分布在所述电极12两侧的多个绝缘条131和形成于相邻两个绝缘条131之间的多个凹槽132，其中多个所述绝缘条131的形状和或宽度和或高度和或倾斜角度不同；和或，多个绝缘条131包括悬设绝缘条1312；和或，多个所述凹槽132的宽度和或深度不同。
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权利要求：
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