龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：TDK株式会社
摘要：本发明提供一种气体传感器，其具有：基材，其中形成腔室；第一绝缘膜，其具有与上述基材的作为上述腔室的周缘部的腔室周缘部连接的多个梁部和经由上述梁部保持于上述腔室上的第一绝缘膜膜片部；第二绝缘膜，其层叠于上述第一绝缘膜的上侧；加热器部，其设置于上述第一绝缘膜膜片部的上侧；平坦部，其设置于上述第一绝缘膜膜片部和上述第二绝缘膜之间，且配置于从上方观察时比上述加热器部靠近上述第一绝缘膜膜片部的中心侧的位置，形成朝向上侧的平坦面；气体检测部，其至少经由上述第二绝缘膜配置于上述平坦部的上侧，具有比上述平坦面狭窄的面积。
主权项：1.一种气体传感器，其具有：基材，其中形成腔室；第一绝缘膜，其具有与所述基材的作为所述腔室的周缘部的腔室周缘部连接的多个梁部、和经由所述梁部保持于所述腔室上的第一绝缘膜膜片部；第二绝缘膜，其层叠于所述第一绝缘膜的上侧；加热器部，其设置于所述第一绝缘膜膜片部的上侧；平坦部，其设置于所述第一绝缘膜膜片部和所述第二绝缘膜之间，且配置于从上方观察时比所述加热器部靠近所述第一绝缘膜膜片部的中心侧的位置，形成朝向上侧的平坦面；气体检测部，其至少经由所述第二绝缘膜配置于所述平坦部的上侧，并具有比所述平坦面狭窄的面积。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号