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申请/专利权人：江苏大学
摘要：本发明属于半导体器件制备领域，特别是涉及一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法。该探测器，从下至上依次包括支撑基板、隔热层、第一键合层、第二键合层、第一电极层、钽酸锂晶片、第二电极层、红外吸收层，支撑基板和隔热层共同构成复合支撑结构，实现了对钽酸锂晶片的整体支撑，没有悬空区域，从根源上避免了现有钽酸锂热释电红外探测器中钽酸锂晶片局部悬空的问题，改善了钽酸锂热释电红外探测器抵抗外界机械振动的能力，极大的降低了钽酸锂热释电红外探测器的麦克风效应，同时隔热层热导率小于等于0.05Wm·K能够确保隔热性能，使钽酸锂热释电红外探测器保持高的探测率。
主权项：1.一种钽酸锂热释电红外探测器，从下至上依次包括支撑基板、隔热层、第一键合层、第二键合层、第一电极层、钽酸锂晶片、第二电极层、红外吸收层，其特征在于：支撑基板中间有部分凸起形成支撑基板凸台，隔热层位于支撑基板凸台外围区域并铺满支撑基板凸台以外的支撑基板区域，隔热层上表面与支撑基板凸台上表面位于同一平面，支撑基板和隔热层共同构成复合支撑结构，隔热层热导率小于等于0.1Wm·K，第一键合层覆盖在隔热层上表面和支撑基板凸台上表面，支撑基板、第一键合层和第二键合层均为导电材料，在红外吸收层上设有焊盘窗口，露出局部第二电极层作为第二电极层的焊窗口，焊盘窗口中心的投影落在支撑基板凸台上表面中心区域；钽酸锂晶片产生的热释电电荷分布在钽酸锂晶片的上、下表面，上表面的电荷通过焊盘窗口的第二电极层向外电路传输，下表面的电荷依次经由第一电极层、第二键合层、第一键合层以及支撑基板凸台向外电路传输；同时支撑基板凸台也是钽酸锂晶片与环境进行热传导的主要通道，而位于支撑基板凸台外围区域的隔热层由于热导很低，起到阻止钽酸锂热释电红外探测器热量向环境散失的作用，其作用类似于现有钽酸锂热释电红外探测器结构中钽酸锂晶片悬空区域的作用。
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权利要求：
百度查询： 江苏大学 一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法
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