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【发明公布】一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法_洛阳晶联光电材料有限责任公司_202410328185.2 

申请/专利权人:洛阳晶联光电材料有限责任公司

申请日:2024-03-21

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN118206360A

主分类号:C04B35/01

分类号:C04B35/01;C04B35/622;C04B35/64

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.18#公开

摘要:本发明公开了一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法,该旋转靶材包括氧化镍和掺杂氧化物,所述氧化镍的质量分数不小于95.0wt%,掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%,所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种,且选择对应氧化物的质量分数范围为:氧化锌0.1~1.0wt%、氧化锶0.1~1.5wt%、氧化锡0.1~5.0wt%。本发明的氧化镍旋转靶材制备时,以氧化镍粉体、掺杂氧化物粉体作为原料,经过造粒、冷等静压、低温常压分段烧结、随炉冷却步骤,即得到旋转靶材。本发明采用低温常压分段烧结,制得相对密度达到99.29%以上的高密度旋转靶材。本发明的氧化镍旋转靶材致密性好、成本低,可应用于钙钛矿太阳能电池片量产中。

主权项:1.一种高密度氧化镍基旋转靶材,其特征在于,包括氧化镍和掺杂氧化物,所述掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%,所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种,且选择对应氧化物的质量分数范围为:氧化锌0.1~1.0wt%、氧化锶0.1~1.5wt%、氧化锡0.1~5.0wt%。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 洛阳晶联光电材料有限责任公司 一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法

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