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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2022-10-14
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235227A
主分类号：H01J37/22
分类号：H01J37/22
优先权：["20211112 EP 21207870.3"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本文公开了一种在其中存储有计算机程序的非暂态计算机可读介质，其中该计算机程序包括当由计算机系统执行时指示计算机系统执行确定SEM图像的充电诱导的失真的方法的代码。该方法包括：在样品的至少一部分的SEM图像中的多个位置中的每个位置处确定由样品在该位置处的充电诱导的照射带电粒子束的偏转；以及根据在SEM图像中的多个位置中的每个位置处所确定的偏转来确定SEM图像的充电诱导的失真。
主权项：1.一种非暂态计算机可读介质，其中存储有计算机程序，其中所述计算机程序包括代码，当由计算机系统执行时，所述代码指示所述计算机系统执行确定SEM图像的充电诱导的失真的方法，所述方法包括：确定在样品的至少一部分的SEM图像中的多个位置中的每个位置处由所述样品在所述位置处的充电引起的照射带电粒子束的偏转；以及根据所确定的在所述SEM图像中的多个位置中的每个位置处的所述偏转来确定所述SEM图像的所述充电诱导的失真。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 对准失真的图像
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