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申请/专利权人：贵研检测科技(云南)有限公司
申请日：2024-05-17
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118209575A
主分类号：G01N23/2202
分类号：G01N23/2202
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明涉及一种贵金属试样的显微组织显现方法，属于显微组织表征技术领域。本发明将贵金属块体试样的待测面进行机械抛光，清洗并烘干得到机械抛光样品；将机械抛光样品的待测面进行氩离子研磨抛光处理得到氩离子抛光样品；氩离子抛光样品置于双束电子显微镜的样品内并在真空条件下观察，采用低电流聚焦镓离子束成像方法，扫描待测样品表面成像，利用离子束增强通道衬度形成强取向衬度的晶粒组织图像。相比于金相法，本发明显微组织显现方法无需腐蚀液腐蚀，可以解决贵金属及其合金耐蚀性极强不易腐蚀的问题；相比于聚焦离子束切割（FIB）法，可获得厘米级较大区域面积的组织图像；相比于常规扫描电镜电子束成像，可获得衬度更明显的晶粒组织图像。
主权项：1.一种贵金属试样的显微组织显现方法，其特征在于，具体步骤如下：（1）将贵金属块体试样的待测面进行机械抛光，清洗并烘干得到机械抛光样品；（2）将机械抛光样品的待测面进行氩离子研磨抛光处理得到氩离子抛光样品；（3）氩离子抛光样品置于双束电子显微镜的样品内并在真空条件下观察，采用低电流聚焦镓离子束成像方法，扫描待测样品表面成像，利用离子束增强通道衬度形成强取向衬度的晶粒组织图像；所述离子束成像方法为：倾转样品台使氩离子抛光样品的待测面正对离子束系统，工作距离为15~38mm，工作电压为30Kev，离子束电流为10~50pA，在非拍照区域小窗口聚焦，然后将待拍照区域移动至视场中心拍照，拍照停留时间为3~10μs。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 贵研检测科技(云南)有限公司 一种贵金属试样的显微组织显现方法
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