龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江美晶新材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种石英坩埚及其制备方法与应用，属于单晶硅制造设备技术领域。该石英坩埚的制备包括：采用等离子体增强化学气相沉积方式，于石英坩埚本体的外表面制备碳化硅保护层；制备条件包括：射频功率为100W~200W，腔体温度为460℃～520℃，腔体压强为50Pa～100Pa，沉积时间为20min～6160min；工作气体包括甲烷和硅烷，其中，甲烷的流量为20sccm～40sccm，硅烷的流量为20sccm～50sccm。该方法能够在石英坩埚本体的外表面制备出高纯度、高致密度以及高附着力的碳化硅涂层，具有上述碳化硅涂层的石英坩埚在长时间拉晶时能够保证起形状不塌陷，同时有效阻止反应气体引起的鼓包。
主权项：1.一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用等离子体增强化学气相沉积方式，于石英坩埚本体的外表面制备碳化硅保护层；所述碳化硅保护层的制备条件包括：射频功率为100W~200W，腔体温度为460℃～520℃，腔体压强为50Pa～100Pa，沉积总时间为20min～6160min；工作气体包括甲烷和硅烷，其中，甲烷的流量为20sccm～40sccm，硅烷的流量为20sccm～50sccm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江美晶新材料股份有限公司 一种石英坩埚及其制备方法与应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号