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申请/专利权人：华侨大学

摘要：本发明涉及白光干涉仪领域，公开了一种改进式白光干涉仪，包括光源、参考单元、反射单元、分束单元和采集单元，通过在普通白光干涉仪中加入分光棱镜、带通滤波器和光电二极管，采集到具有更好的空间相干性、时间相干性的单色光干涉信号，成本较低，结构简单容易实现；本发明还公开了一种改进式白光干涉仪消除扫描误差的方法，通过处理光电二极管得到的具有相同相位分布的单色光信号来修正白光干涉信号，消除由参考臂的非匀速运动和环境振动引入的相位误差，用以提高白光干涉测量系统在复杂环境中测量精度和重复性。

主权项：1.一种改进式白光干涉仪消除扫描误差的方法，其特征在于，所述改进式白光干涉仪包括：光源，发射白光光束；参考单元，包括参考镜和控制参考镜运动的压电促动器；反射单元，包括第一透镜和第一分光棱镜，第一透镜对光源发出的白光光束进行扩束，第一分光棱镜将经过扩束的白光光束分为两路白光光束，一路到达待测物体表面后反射回来，另一路到达参考镜后发射回来，两路反射光束再次经过第一分光棱镜后合束，形成合束白光光束；分束单元，包括第二分光棱镜，将合束白光光束分为两路白光光束；采集单元，包括高速相机、带通滤波器和光电二极管，对于分束单元发出的两路白光光束，一路到达高速相机，另一路经过带通滤波器后达到光电二极管；所述消除扫描误差的方法包括以下步骤：布置待测物体，启动改进式白光干涉仪使光源发出白光光束，压电促动器控制参考镜运动；控制高速相机和光电二极管同步工作，高速相机采集白光干涉信号Xt，光电二极管采集单色光干涉信号，白光干涉信号Xt和单色光干涉信号均包含由参考镜非匀速运动和环境振动引入的误差Hnt，t表示时间；通过傅里叶变换和傅里叶逆变换从单色光干涉信号中得到实际相位分布；设定一条a0+a1t作为理想相位分布，a0和a1的设置满足理想相位分布与实际相位分布在白光干涉信号Xt长度范围内相交；以a0+a1t代替白光干涉信号Xt的横坐标，使白光干涉信号从Xt变为Xa0+a1t，再根据实际相位分布与理想相位分布的误差Dt对Xa0+a1t的每个采样点进行平移，获得修复后的白光干涉信号是X[a0+a1t+Dt]；利用修复后的白光干涉信号X[a0+a1t+Dt]复原待测物体的表面形貌分布。

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权利要求：

百度查询： 华侨大学 一种改进式白光干涉仪及其消除扫描误差的方法