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激光加工头以及激光加工装置 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:激光加工头第一激光加工头10A具备:壳体壳体11;入射部入射部12,设于壳体使激光入射至壳体内;调整部调整部13,配置于壳体内调整激光;和聚光部聚光部14,安装于壳体将激光聚光并射出至壳体外。在第二方向Y方向彼此相对的第三壁部第三壁部23与第四壁部第四壁部24的距离比在第一方向X方向彼此相对的第一壁部第三壁部21与第二壁部第二壁部22的距离小。壳体构成为在第一壁部、第二壁部、第三壁部和第五壁部的至少1者配置于激光加工装置激光加工装置1的安装部侧状态下,壳体安装于安装部安装部65。聚光部配置于第六壁部第六壁部26,在第二方向偏靠第四壁部侧。

主权项:1.一种激光加工头,具备:壳体,其具有在第一方向彼此相对的第一壁部和第二壁部,在垂直于所述第一方向的第二方向彼此相对的第三壁部和第四壁部,以及在垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向彼此相对的第五壁部和第六壁部;入射部,其设置于所述壳体,使激光入射至所述壳体内;调整部,其配置于所述壳体内,调整从所述入射部入射的所述激光;和聚光部,其安装于所述壳体,将由所述调整部调整过的所述激光聚光并射出至所述壳体外,所述第三壁部与所述第四壁部的距离比所述第一壁部与所述第二壁部的距离小,所述壳体构成为在使所述第一壁部、所述第二壁部、所述第三壁部和所述第五壁部的至少1者配置于激光加工装置的安装部侧的状态下,所述壳体被安装于所述安装部,所述聚光部被配置于所述第六壁部,在所述第二方向偏靠所述第四壁部侧,所述调整部具有:反射镜,其反射从所述入射部入射的所述激光;反射式空间光调制器,其调制被所述反射镜反射的所述激光;和成像光学系统,其构成所述反射式空间光调制器的反射面与所述聚光部的入射瞳面为成像关系的两侧远心光学系统,所述入射部和所述反射镜被配置于沿着所述第三方向延伸的第一直线上,所述反射式空间光调制器、所述成像光学系统和所述聚光部被配置于沿着所述第三方向延伸的第二直线上。

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