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申请/专利权人：浙江晟霖益嘉科技有限公司

摘要：本发明公开了一种蒸发真空设备生产线，包括依次相连的上料平台、进料腔体、第一缓冲腔体、工艺镀膜腔体、第二缓冲腔体、出料腔体和卸料平台；所述工艺镀膜腔体中设置有蒸发源，所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘向前输送，每个腔体上至少设置一路冷却管道。本发明提供的蒸发真空设备生产线，不但适合在高温状态下稳定运行，有较好的密封性，能有效解决真空状态下的冷却及输送问题，而且输送能量转换率高，方便拆卸和维护。本发明还通过对蒸发源所在蒸发腔的冷却部分进行针对性改进，保证整体冷却的均匀性，并降低布置难度。

主权项：1.一种蒸发真空设备生产线，其特征在于，包括依次相连的上料平台、进料腔体、第一缓冲腔体、工艺镀膜腔体、第二缓冲腔体、出料腔体和卸料平台；所述工艺镀膜腔体中设置有蒸发源，所述进料腔体和出料腔体的两侧设置有闸阀，各腔体上设置抽真空装置使得腔体内部形成真空腔室，所述真空腔室的两侧设置传动输送装置带动真空腔室内的输送载盘向前输送，每个腔体上至少设置一路冷却管道；所述传动输送装置包括机架组件，所述机架组件上设置有腔室组件，所述腔室组件的两侧设置有传动组件；所述传动组件和驱动组件相连，所述驱动组件固定在机架组件；所述腔室组件包括真空腔室和腔室盖板；所述传动组件包括传动主轴、磁耦合旋转轴和输送载盘，所述磁耦合旋转轴的数目为多个，并排安装于真空腔室的两侧，所述输送载盘位于真空腔室内且布置在磁耦合旋转轴端部的驱动轮上，所述传动主轴和其中一个磁耦合旋转轴通过同步轮相连，相邻两个磁耦合旋转轴通过同步带相连带动腔室内的输送载盘向前输送；所述磁耦合旋转轴包括基体组件，所述基体组件的一端为传动输入端，另一端为传动输出端；所述基体组件内设置有磁笼组件，所述磁笼组件为非接触式磁笼组件，所述传动输入端由深沟球轴承支撑旋转轴将动力输送至非接触式磁笼，并通过轴承保持支架和基体组件密封相连，所述传动输出端由深沟球轴承支撑旋转轴将动力从磁笼输出，并通过轴承保持支架和基体组件密封相连，所述传动输出端的末端为输送导向装置；所述基体组件包括基体和基体壳，所述基体壳内密封设置水冷管路；所述磁笼组件包括磁笼、磁片、分割件和磁片固定盘，所述磁笼贴合设置在基体壳的内壁上，所述磁片通过磁片固定盘呈环绕方式排布在磁笼的内壁上，在静态状态下N极和S极一一相互隔空相吸；所述分割件设置在基体壳和传动输入端之间；所述工艺镀膜腔体为蒸发腔，所述蒸发腔底部设有斜面，所述蒸发源安装在蒸发腔的正下方或斜下方形成不同的镀膜角度；所述蒸发源外设置外壳圆周本体，所述外壳圆周本体的下方设置有底部法兰盘，所述外壳圆周本体上设置有第一冷却器，所述底部法兰盘上设置有第二冷却器，所述底部法兰盘的中央和加热器的正下方设置有加热器支撑架，所述加热器支撑架上设置有第三冷却器；所述第一冷却器、第二冷却器和第三冷却器独立冷却或选择性串联后进行冷却；所述蒸发源为坩埚并设置高度调节装置，所述高度调节装置包括坩埚底托，所述坩埚底托通过连接杆和调节螺栓相连，所述调节螺栓与蒸发源的底部法兰螺纹连接，所述调节螺栓上套设锁紧螺母，通过旋转调节螺栓进行高度调节并通过锁紧螺母锁定调整后的整体高度；所述调节螺栓上形成有凹槽，所述凹槽内设置有密封圈与蒸发源外壳的底部形成径向密封；所述坩埚底托与蒸发源坩埚底部部分接触形成隔热空腔。

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