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申请/专利权人：苏州康钛检测科技有限公司
申请日：2023-08-31
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221174355U
主分类号：G01N21/01
分类号：G01N21/01;G01N21/88
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型公开了一种隔热装置，包括隔热组件，所述隔热组件固定安装在晶圆外观检测设备上，所述隔热组件包括隔热主板和副板，所述隔热主板上安装有纵向出风组件，所述副板上安装有横向进风组件，所述隔热主板和副板呈“L”型结构设计，所述横向进风组件包括进风口和进风风扇，所述进风口在副板上开设有多组。本实用新型通过在主机安装区和工作台基座之间安装隔热组件，将主机安装区和主工作区域隔离开，并且隔热组件上安装有加速冷却的通风组件，同时可以将热量向下方引导，使主工作区域的温度不会因为主机工作而发生变化，有效避免检验工作台和光学组件受温度影响，保障检测精度。
主权项：1.一种隔热装置，其特征在于，包括隔热组件，所述隔热组件固定安装在晶圆外观检测设备上，所述隔热组件包括隔热主板和副板，所述隔热主板上安装有纵向出风组件，所述副板上安装有横向进风组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州康钛检测科技有限公司 一种隔热装置
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